EMS仍旧是一个产品多样化的产业，也越来越是由少数几家大公司主导的产业。市场研究机构Yole Developpement 一份调查报告显示，2010年四家最大的MEMS公司——Texas Instruments, Hewlett Packard, Robert Bosch和STMicroelectronics—— 总收入增长了37%，达到29亿美金。这也是MEMS芯片尺寸不断缩小带来的经济效益。
未来的纳米电子技术发展将会是不可估量的，除了刚性的半导体芯片以外，我们将能看到柔性（flexible）和可延展性（stretchable）电子器件植入各种材料。这些新材料将进入我们的日常生活，从衣物、保护服、到包裹和家具等等；它们还将能直接与皮肤或器官接触。我们将期待看到印于T恤衫上的健康监测器，医生手术手套上的智能传感器，婴儿尿布上的诊断器件，以及数据手套上的人机界面，电脑游戏等等。
十多年来，CEA-Leti公司一直致力于发展能精确测量受地球重力和磁场影响的方向性微传感器。如今CEA正开始将这些微小传感器阵列植入智能材料中。 关于这种植入微传感器的起初目标是，希望能捕获被植入材料的形状、位置以及运动等详细信息，并采用计算方法分析数据，应用于现实世界的问题。
意法半导体（STMicroelectronics）近期宣布已经成功将带有电子罗盘的移动器件的电池寿命延长，采用将三轴加速度计和三轴磁力计集成于单个封装的方式实现。新的六轴MEMS芯片耗电减少了50%，同时磁灵敏度提高了30%，价格则低于2美元。 根据HIS iSuppli的评估，全球电子罗盘需求量将从2010年的11亿美元增长至2015年的19亿美元。绝大多数的电子罗盘都是基于霍尔效应的工作原理，而ST表示，其改进型磁传感器去除了普通霍尔传感器电子罗盘所需的磁通量集中器，并将Z轴灵敏度做到和X、Y轴灵敏度一样高，这样一来就减少了来自建筑、汽车和其他城市金属干扰源带来的测量误差。同时ST也表示，在高纬度地区可以直接去掉霍尔效应。 这款低功耗六轴MEMS电子罗盘——LSM303DLM长宽仅为5毫米，厚度1毫米，内含三轴加速度计和三轴磁力计，功耗360微安。对于时间和温度变化都表现出很好的稳定性。 http://www.eetimes.com/
mPhase Technologies最近宣布其介入关于军方一个主要合同的讨论，可能将其MEMS电池技术应用于军事领域，作为重力激发的能量源，为新型武器系统提供能源。该公司早在2008年便与美国军方就单芯储备电池成功完成了测试，由坦克发射激发。此后该公司将其研发方向扩展到了多芯非重力激发领域，如记忆备份。最近，公司与美国军方签订了为期3年的合作研究和发展计划。 此前的测试已经验证了电池原型的高抗冲击和抗加速度能力。采用坦克炮弹搭载发射的方式测试性能，配合气枪发射仿真实验，显示了其内部纳米结构可承受军事领域的极端冲击，在30000个重力加速度下未损坏。 mPhase通过纳米技术、MEMS工艺和微流体技术实现这一称为“智能表面”的技术。除了在电池产品上的应用外，公司表示，这一技术还在药物输送，片上分析系统，自清洁系统，液体和化学传感器系统，过滤系统等方面有潜在应用价值。 http://www.memsinvestorjournal.com/
A*STAR的Min Tang及其同事开发出了一款高性能，高度集成的机械磁开关。该器件包含一个由两根扭转棒支撑的磁板，磁板由80%的镍和20%的铁组成，图形化成长而窄的带状结构。当磁铁靠近器件时，带状结构按照磁场方向排列，将磁板倾斜，从而使两块金焊盘接触产生电连接。当磁场撤消时，两根扭转棒将磁板拉回初始位置，焊盘分离。 Min Tang及同事通过选择合适的磁板长度、厚度和宽度，将响应最大化，从而可以采用更小的磁铁来驱动器件，显著减小了总体尺寸和功耗。通过优化，将所需磁场强度缩小至4.8毫特斯拉，大约是原先的一半。磁开关打开状态的阻抗为0.5欧姆，开关时间仅为2毫秒。 由于所需工艺及其简单，将之前的两块磁板设计缩减为只需一块磁板的设计，整个器件的可靠性和耐久性因此大大加强。通过验证，该磁开关可承受高达3400万次的开关周期，最大可抗500 g的冲击。 下一步即将为器件设计密封封装，用以支持可能应用的笔记本电脑，手机，医疗设备（如助听器起搏器）等。 http://www.physorg.com/
据爱丁堡大学、建国大学和汉城国立大学的研究人员介绍，将响应频率高达无线电频段的金属悬臂梁和碳纳米管晶体管结合起来，可以制作出稳定的存储器。 这项发表在Nature Communication 上的研究工作，向世人展示了一个比以往任何闪存功耗更低的存储器件。 由于碳纳米管晶体管响应速度较低、数据保存时间短，研究人员之前用它制作存储器都以失败告终。爱丁堡大学化学学院Eleanor Campbell教授带领的团队利用机械悬臂梁给门电极充电，解决了上述问题。 Campbell教授表示，他们采用了一种新的方法来设计存储器件。将机械方式和纳米技术的优势结合起来，他们制作出了一个比现存任何存储器功耗更低的存储器件。 悬臂梁的一端通过锚点固定，梁悬在驱动电极和门电极上。当给驱动电极加上偏置电压时，悬臂梁在静电力的作用下向下弯曲，并与门电极接触。悬臂梁由Cr/Al/Cr三层材料组成，门电极由淀积在氧化铝绝缘层上的80nm Au层构成。 门电极上的电荷量控制着P型碳纳米管半导体沟道中的源极-漏极电流。开关频率达到10,000Hz-100,000Hz。该碳纳米管存储器的数据保持时间达到4000秒，开关次数达到500次。据悉，MEMS开关的工作寿命为1亿次量级，比闪存的工作寿命长很多。 该存储器能够存储多位数据，读写频率只受到悬臂梁的响应频率限制。因而该存储器的读写频率比闪存快得多。 这里没有展开讨论存储器的体积、存储密度和可扩展性。 http://www.eetimes.com/
对于都市出行者而言，拥有一个私人的、没有交通压力的通勤听起来像是一个美梦。但是，能够预测未来交通状况的新技术为这个美梦的实现铺设了道路。IBM公司与加州大学交通学院和加州大学伯克利分校合作开发的新技术利用埋在道路上的传感器传回的数据来分析不久将来的交通状况。然后将预测出来的未来交通状况信息和出行者通常的出行路线结合起来，该技术就能告知出行者将需要的出行时间和将会遇到的交通状况。 分析引擎能够接受传感器传回的大量数据，并追踪历史趋势。将当前获得的数据与历史趋势进行匹配，分析引擎就能预测未来20分钟或者40分钟将会出现的交通状况。 电视和无线广播也能提供交通状况的报告，但观众和听众接收到时，该交通状况信息已经过时了。之前还没有一种能够预报30分钟或45分钟之后交通状况的技术。能够预测未来交通状况是该项由IBM等研发出来的新技术最大的特点。 例如，目前流行的交通状况分析工具Sigalert在用户登录之后能够提供通常出行路线的交通状况。但和电视广播一样，Sigalert也只能提供目前的交通状况，而而不能告诉用户将会出现的交通状况。 到目前为止，IBM等开发的交通状况预报工具已收集了旧金山湾区的交通信息，但还不能向公众提供服务。IBM表示，他们正在研究该项技术为司机提供服务的一些技术细节。IBM公司也预见了该预测软件在其他领域的应用，如能源领域。该项技术使企业能够预测出能源的使用情况，从而提高能源的利用率。 http://www.technewsdaily.com/
MEMS包含一系列由电信号驱动的微小可动部件，其在光通信系统中有很多应用。MEMS具有吸引力的一方面原因是MEMS器件可以与其他电子、光学元件一起集成在单个封装中，成为一个多功能器件。而且该多功能器件的制造成本更低、性能更高。但在元器件集成过程中，需要对各个组成元件进行精确地对准，以免各元器件间的信号丢失。
中国科学家设计出一种绿色、简便的方法来制作用于检测饮用水中氰基毒素、微囊藻毒素含量的传感器。由蓝绿藻产生的氰基毒素会对饮用水造成污染。 1998年，世界卫生组织发布了一份临时指导书，建议饮用水中微囊藻毒素的含量不超过1mg/L。因而环境中微囊藻毒素的检测显得很重要。 将Au纳米颗粒组装到经氮掺杂过的碳纳米管上，南京大学的Huangxian Ju及其同事制作出用于检测饮用水中微囊藻毒素的传感器。与未经掺杂的碳纳米管相比，经氮掺杂过的碳纳米管对生物细胞的毒性更小，具有更好的生物相容性。掺杂到碳纳米管上的氮为Au纳米颗粒的组装提供了活性结合位。 该团队在Au纳米颗粒上组装上一层微囊藻毒素抗体，以检测水中的氰基毒素。实验发现，该传感器能够检测出含量比WHO公布的1mg/L低得多的氰基毒素。 Ju解释，虽然目前检测微囊藻毒素有多种方法，但都很耗时，且需要昂贵的设备和高级技术人员。Ju等人研发的纳米复合物制作成本低、检测浓度范围大、检测极限低、重复性好等优点，可以成功检测出污水样品中的微囊藻毒素。 中国福州大学的一位电化学免疫传感专家称，Ju等人研发的系统比现存的毒素检测系统更具生物相容性，因而具有更高的检测灵敏度。 Ju等人希望将各种不同的金属纳米颗粒组装到经氮掺杂过的碳纳米管上，从而制作出用于生物传感和生物催化的金属纳米颗粒/碳纳米管复合材料生物相容平台。 http://www.rsc.org/
