时间：2009年8月25日上午9：30~12：30
地点：重庆金山科技集团公司总部

2009年8月25日上午，“国际知名研发机构重庆行动”主题活动之一：第三届微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会（ICMAN2009）第二次筹备会在重庆金山科技（集团）公司总部举行。会议组织委员会代表（分别来自重庆市科委、中国仪器仪表学会、重庆金山科技（集团）公司、清华大学、北京大学、南京理工大学）和会议承办方当地代表及相关单位领导（分别来自重庆渝北区经委、重庆空港工业区B区、重庆大学、重庆科技学院）参加了此次会议。

会议首先听取了会议秘书处对前期筹备情况的介绍，并即时更新了会议邀请人员情况。截止到目前为止，ICMAN2009共落实国内外参会人员52人，其中国外代表22人（9名VIP代表）；已经联系但等待最后落实代表51人，其中国外代表13人（3名VIP代表），国内代表5人（全部为VIP代表）；落实参展单位7家，待落实8家。从邀请人员质量和数量看，基本实现预定目标，这些工作为会议的成功召开奠定了坚实的基础。如果邀请落实，共有国内外参会人员103人，其中国外代表35人（12名VIP代表）

与会人员进一步讨论了会议下一步工作计划和具体细节，并对会议举办的主题风格进行了讨论，尤其对会议举办存在的困难和问题进行了分析。会后会议组织委员会成员对会议主办场地进行了现场考察。经过此次会议，会议组织委员会将在当前工作的基础，进一步梳理细节，落实会议邀请，相信能够成功举办一届超过以往的高质量的国际研讨会。

截止到2009年6月，ICMAN2009确定参会的国外专家和公司代表已经超过30人，我们邀请到了包括LIGA发明人Wolf Menz教授、日本的Masayoshi Esashi教授和Toshio Fukuda教授等多名国外知名的微米纳米技术专家参会。俄罗斯、日本、法国、美国、澳大利亚、比利时三个国家代表组团参会。此外我们也在努力邀请更多的国际知名公司技术负责人和微米纳米技术领域的世界级专家参会。由于本次会议得到了包括红杉资本和联想投资等多家风投机构的支持，所以引起了国内外微米纳米技术领域众多中小企业的积极响应。总的来说，目前会议筹备情况进展顺利。名单如下：

VIP：

• 俄罗斯联邦科学院院士尤里·季米特里维齐·德列季科夫，俄罗斯联邦科学院院士
• 戴聿昌教授，美国加州理工学院，世界第一个硅微电机发明人
• Prof. Masayoshi Esashi，日本东北大学，日本MEMS创始人
• Prof. Toshio Fukuda，名古屋大学，日本微型机器人创始人
• Prof. Rolf Johansson，瑞典隆德大学，瑞典物理协会院士
• Prof. Wolf Menz，德国佛雷堡大学，LIGA技术创始人
• Prof.Richard S.Muller，美国加州大学，美国工程院院士
• 刘思行，美国 L3，高级主管工程师
• 范龙生教授，台湾国立清华大学，世界第一个硅微电机发明人

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国外参会组团人员：

• 高腾博士，比利时IMEC
• Hui XU MULLER徐卉博士（法国），Compass Star Company
• Prof. Cheng Yan，澳大利亚昆士兰理工大学
• 刘乐文博士（新加坡），美国Zyvex

其他正在邀请中和落实中…

健康和长寿是人类追求的目标，医疗无论在过去、现在和未来都拥有巨大的市场。MEMS&NEMS 将在生物和医疗领域大展身手。“如鱼得水”用来形容当前MEMS&NEMS 与生物医疗的关系并不过分。近年来，着眼于生物和医疗的MEMS&NEMS 企业如雨后春笋般崭露头角，一派欣欣向荣的景象。本期聚焦介绍一家BioMEMS 公司从创意到走向市场的成长历程。或许它的经历会对想创业或者已经创业的你有些许启发。本期还重点关注一家致力于将MEMS 技术应用于可吸收式和植入式器件及药品的美国公司。该公司当前的重点是提高心脏衰竭治疗的疗效。而心脏衰竭是美国医院住院费用的最大单项支出，每年耗费近300 亿美元。将视线转回中国大陆，除重庆金山科技等几家为数不多的涉足医疗MEMS 领域的企业外，我们还很少看到生物和医疗领域的MEMS & NEMS 真正的产值。

在MEMS & NEMS 其它领域，有人欢喜有人愁。MEMS 继续在麦克风市场扩大市场份额，仍具有很强的增长潜力。但随着越来越多的公司进入市场， MEMS 麦克风将面临日益巨大的价格压力。战争才刚刚开始。处于景气状态的还有微投影仪市场，In-Stat 公司预测微投影仪市场将在五年内超过11 亿美元。汽车市场则是一片凄凉。2008 年汽车销量的急剧下滑使MEMS 在汽车行业的出货量下跌6%，预计2009 年的出货量将减少19%。但由于MEMS 传感器的类型和应用范畴还在不断增加，也有公司预测汽车MEMS 在2010 年恢复健康增长。

我们渴望拥有更多的本土MEMS&NEMS 企业，渴望在未来的高科技市场上能出现更多中国人的身影。但是，当技术发展数十年国内外依然山里山外景象各异时，是不是我们更应该反思我们的战略和管理，是不是应该追问纳税人的钱在MEMS&NEMS 上的投入产出比。我们也更应该审视和拷问自己的良心与态度。技术可以市场化，但当技术研发本身带有太多的市侩气而不具有职业精神时，我们的科技也就失去了生命力。如火如荼的全球MEMS&NEMS 市场，中国人占据的部分几乎为零。零记录的耻辱是否也能激起你光脚不怕穿鞋的的勇气？

ICMAN2009 将在10 月于重庆召开，我们期待您的参与，也将坦诚地与您交换意见。这是不迷信权威的论坛。

MEMS&NEMS 电子期刊同样也是不迷信权威的期刊，我们真诚地期待您的投稿和意见。

责任编辑：冯焱颖 伍康

本期目录

本期聚焦：

BioMEMS——从创意到市场
MEMS  技术应用于智能医药

国内市场专栏

国内MEMS/NEMS  概况（二）

MEMS/NEMS  科技动态

Epson  Toyocom  开发出全球最小的32.768kHz  晶振
MEMS  技术用于指纹识别
意法发布不受电压影响的MEMS  加速度计
拥有运动部件的纳米汽车诞生
磁组装复杂纳米结构
诺基亚西门子通信公司发布新MEMS  光学平台
拇指大小的MOEMS  光谱仪发布
SensorDynamics  发布新MEMS  陀螺仪
EPCOS  推出世界最小的气压传感器
从血液样本里分离细菌

产业与政策

Yole  公布2008  年MEMS  制造企业前30  强
Digi-key  和Bosch  Sensortec  达成全球销售协议
Northrop  Grumman  公司将为韩国新型步兵战车提供地面导航系统
汽车MEMS  下滑迫使人们思考MEMS  喜忧参半的未来
MEMS  麦克风市场继续增长
嵌入式微型投影仪市场将超过10  亿美元
Microfluidics  International  发布第四季度和2008  年终财报
WiSpry  公司C  系列射频芯片的启动费提高1000  万美元
Entrepix  扩大其在亚洲的CMP  服务
博世公司引领汽车MEMS，瞄准中国市场
台湾MEMS  制造商TMT  公司收购美国Miradia  公司
意法半导体的运动传感器用于Openmoko  的移动组件
芯片实验室（Lab-on-a-chip）：商业价值在那里？
PCB  厂商开始着眼于LSI  和MEMS  技术
Sporian  Microsystems  将为美国空军开发MEMS  传感器
Omron  致力于MEMS  增长

会议信息

第三届微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会  (  ICMAN2009  )将于2009  年10  月在重庆召开

寒冬下的全球经济一片萧条。汽车业面临空前压力，美国三大汽车巨头举步维艰。一直受汽车工业推动的 MEMS 市场同样感受到了丝丝凉意。然而萧条中往往孕育着新的生机与活力，产业结构中或许将会出现新的领头羊。对于徘徊在十字路口的中国汽车业来说，振兴汽车产业规划成为拯救经济疲软的一味药方。在推动内需的政策下，庞大的中国市场对于民族品牌的汽车工业和通信产业将会是一个契机，而这两个行业正是MEMS 的重要战场。另一方面， MEMS 新应用的不断出现刺激着市场。惯性MEMS 老树开新花，在消费市场、工业市场和国防领域的应用增长呈现出超越汽车应用的趋势，“不要把鸡蛋放在一个篮子里”的应用多样化模式是经济威胁下的保命良方。面向消费电子、生物和医疗等领域的MEMS/NEMS 开发有望在未来几年刺激市场增长，为在寒冬中坚持推陈出新的MEMS/NEMS 研发部门送来一丝温暖和鼓舞。与其说危机让MEMS/NEMS 市场放缓，不如说让其迈步更加审慎。越来越多的 MEMS/NEMS 厂商将目光关注于应用开发，将定位从器件供应商向系统供应商/应用方案提供商转变。当前的MEMS/NEMS 似乎告别了 “Miniaturizing Everything Makes Sense” 的阶段，实现了向 “Making Elements to Making Systems” 的转变，为在未来新的经济增长周期中争夺话语权奠定了基础。

责任编辑：冯焱颖 伍康

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本期目录

MEMS
Wolfson 推出世界上最高性能的超紧凑MEMS 微麦克风 1
Caltech 的生物工程师开发“片上显微镜” 1
ELMOS 推出PSS1 压力传感器系统 2
ALPS 开发压阻式MEMS 压力传感器来检测绝对压力 2
微流体帮助环境测试取得重大进展 3
MEMS 开关用于RF 源 3
Pixtronix 赋予平板显示超低功耗和出色的图像质量 4
EPCOS 压力传感器：紧凑，准确，灵活 4
SiTime 推出业界最小的可编程扩频时钟振荡器系列 4
MicroVision 新的MEMS 扫描镜
超过手持微投影仪所需的关键性能指标 5
Ecliptek 公司的MEMS 扩频振荡器成本大幅降低
电磁干扰（EMI）降低 5
飞思卡尔为手持设备提供数字加速度计 5
低成本车辆稳定芯片降低翻车危险 6
一种便携式，廉价的血凝测试 7

NEMS
NEMS 谐振器控制的新标志–创造了高频悬臂梁的新纪录 8
第一个碳纳米管基的彩色电泳显示器 8
Buckypapers 碳纳米管的电荷光学行为 8
碳纳米管在纳米级电子应用中的组装技术 9

工艺与测试
台积电发布28nm 级工艺 10
产业与政策
金融危机会影响MEMS 装备和材料市场吗？ 11
惯性MEMS 器件市场状况：2011 年消费市场将成为主要动力 13
MEMS 应用增长，市场却在降温 15
生物传感器市场到2012 年将达到61 亿美元 16

产业与政策
Yole 预测MEMS 市场在2009 年将受到经济危机的拖累 17
诺基亚预测未来的移动电话 18
WiSpry 输送首批产品到顶级手机制造商 19
MEMSIC 宣布2008 年第三季度财务业绩 19
RLG-FOG-DT
和基于石英与MEMS 的惯性测量单元的竞争市场分析 20
中国微米纳米技术学会第十届学术年会暨第一届国际会议召开 21
第四届IEEE-NEMS 年会成功召开 22
MicroTAS 会议体现了微系统进展的要点 23
2008 年中国MEMS 市场回顾与展望 23
会议信息与书刊推荐
IEEE International NonoElectronics Conference (INEC) 2010 26
“微系统和纳米技术”内容简介 28
广告征订 29

第三届微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会（ICMAN2009）拟定于2009年10月22日-23日在美丽的山城重庆召开。本次会议由中国国家发展改革委员会（NDRC）、中国国家自然科学基金委(NSFC)、中国高技术研究发展项目（863项目）和中国仪器仪表学会主办，由微纳器件与系统技术分会（MNSC）、中国国际NEMS网（CINN）和重庆金山科技（集团）有限公司承办，获得了重庆市科委与经委、SEMI China、加拿大领事馆、英国领事馆和日本领事馆等单位的大力支持。

ICMAN会议主题为“创新与产业化”，旨在研究中国及世界市场对于微纳米技术的需求,探索微纳米技术的商业化模式,推动中国与相关地区微纳米技术的投资与技术合作,构建亚洲微纳米技术发展的网络平台,尤其是帮助我国的企事业单位、科研机构和大专院校深入了解并更好地参与微米纳米技术的产业化进程。ICMAN2009将邀请日本、芬兰、美国、新加坡、中国台湾等多个国家和地区的代表团出席，邀请国内10多家科研院所和数十家微纳米企业与用户单位组成一只强大的中国代表团参会，将邀请包括国家发改委、国家科技部、自然基金委等部门领导以及知名的两院院士参会。会议的档次和规模将比上两届会议有大的飞跃，诚邀致力于微米纳米技术研发与产业化的各界人士参会参展。

详情请见：ICMAN2009

第三届微米纳米技术“创新与产业化”国际研讨会（ICMAN2009）拟定于2009年10月22日-23日在美丽的山城重庆召开。本次会议由中国国家发展改革委员会（NDRC）、中国国家自然科学基金委(NSFC)、中国高技术研究发展项目（863项目）和中国仪器仪表学会主办，由微纳器件与系统技术分会（MNSC）、中国国际NEMS网（CINN）和重庆金山科技（集团）有限公司承办，获得了重庆市科委与经委、SEMI China、加拿大领事馆、英国领事馆和日本领事馆等单位的大力支持。

    ICMAN会议主题为“创新与产业化”，旨在研究中国及世界市场对于微纳米技术的需求,探索微纳米技术的商业化模式,推动中国与相关地区微纳米技术的投资与技术合作,构建亚洲微纳米技术发展的网络平台,尤其是帮助我国的企事业单位、科研机构和大专院校深入了解并更好地参与微米纳米技术的产业化进程。ICMAN2009将邀请日本、芬兰、美国、新加坡、中国台湾等多个国家和地区的代表团出席，邀请国内10多家科研院所和数十家微纳米企业与用户单位组成一只强大的中国代表团参会，将邀请包括国家发改委、国家科技部、自然基金委等部门领导以及知名的两院院士参会。会议的档次和规模将比上两届会议有大的飞跃，诚邀致力于微米纳米技术研发与产业化的各界人士参会参展。

一、会议日程

l  10月21日下午，报到；

l  10月22日上午，开幕式

l  10月22日下午，创新技术论坛：特邀最新和最具潜力的技术成果报告；

议题：(1)创新理论和观念

(2)创新新设备、系统和应用

(3)创新材料、结构和加工工艺

(4)创新仪器和设备

l                10月23日上午，产业化论坛：微纳米器件与系统的技术、应用和产品、主要市场和产业化的途径及国际合作；

议题： (1)微纳米装置和微系统技术、应用和产品

(2)微纳米技术商品化和市场分析

(3)微纳米技术战略分析、劳动力、铸造和其它支持领域

(4)微纳米技术领域创新商业实务

l                10月23日下午，投资和产业化洽谈：安排遴选的优秀技术合作建议书进行专场介绍，供用户、投资方和技术提供方讨论

议题：(1)国际合作模式探索（重庆地区）

(2)微纳米技术领域的工业需求和资源

(3)投资者的特殊服务：商业策划评估和合规性调查

论坛举办同时，举办展览，以进行产品展示；同时设置自由张贴区供项目建议的宣传；设置专门的投资洽谈室供意向双方洽谈。

二、活动组织单位

l  主办

中国仪器仪表学会(CIS)

中国国家发展改革委员会（NDRC）

中国国家自然科学基金委(NSFC)

中国高技术研究发展项目（863项目）

l  承办

中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会

中国国际NEMS网（CINN）

重庆金山科技（集团）有限公司

l  支持

会议进展请关注网站更新：http://www.int-icman.com

参会、参展与会议情况咨询联络：

l  Email：mnems@tsinghua.edu.cn

l  联络人：冯焱颖，010-62796379（O），13488890560（M）

王丽娟，010-62771478（O）

ICMAN2008在西安成功召开

——“机遇和危机”变为今年的主题

第二届微纳米技术“创新与产业化”国际研讨会（ICMAN2008），于2008年10月18日到20日，在中国西安召开。来自12个国家和地区的85位与会代表就“MEMS技术及应用”、“创新技术”、“产业化”和“区域发展及国际合作”四方面表达了自己的观点并展开激烈讨论。在全球经济危机的背景下，“机遇和危机”变为此次研讨会的主题。代表们有来自不同国家和地区的高校和科研院所的科学家和研究人员，如来自美国加利福尼亚大学洛杉矶分校（UCLA）的何志明教授和来自日本东北大学（Tohoku University）的Masayoshi Esashi教授。中华人民共和国国家发展和改革委员会、国家自然科学基金委员会和国家科学技术部的部分领导莅临此次会议，给予了巨大的关注与支持。此外，SMIC，IMEC, Tronics, Suss MicroTec, Nippon Signal等公司的部分销售经理和首席执行官也参加了此次会议，让人印象最深刻的是来自中国内地的很多公司和企业参加了此次研讨会，发言并表达了他们在巨大的微纳米技术市场中的企业愿景。SMIC公司的黄河先生宣布SMIC将推出MEMS制造的代工服务。

会议完成了各项预订议题，圆满结束。

详细信息请访问：www.int-icman.com。

全球性的经济危机让科技发展面临挑战，对于MEMS/NEMS 产业来说意义却不仅仅在此，伴随着危机的还有机遇。从市场来看，MEMS 市场正在扩展，不少产品颇具潜力，去年本刊曾介绍过的Microvision 公司的微型投影仪(pico-project)近来风头正劲，大有重塑投影仪市场的势头，目前国内外已有多家公司利用该公司的模块推出多款投影仪，其体积、重量、功耗和寿命等性能均大大超出目前市场的投影仪，估计今后的中高端手机也会配置这种微型投影仪。胎压传感器(TPMS)是另一个希望之星，鉴于对于节能日益重视，越来越多的国家将有望制定相关法规强制在汽车上采用胎压传感器。陀螺和加速度计在今后数年仍将保持强劲势头，导航装置及防侧滑装置(ESC/VSC)将越来越多的被应用，稳固惯性MEMS 市场。特别值得关注的是国内MEMS 企业日渐增多，这也说明国内MEMS 行业开始走向成熟，大学和研究所的研发成果也可得到推广，从而形成良性循环。

责任编辑：冯焱颖 伍康

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目录

MEMS

• 简化的液体流动微传感器 1
• 寻找一种新的方式以减小微观摩擦 1
• 意法半导体和Debiotech 发布一次性纳米胰岛素注射泵原型 2
• OSRAM 推出SMT 封装的OSTAR 投射LED 用于pico 投影仪 3

NEMS

• 纳米定位：灵巧加倍 4
• Battle 和Unidym 结成联盟 致力于碳纳米管在复合材料的使用 5
• SRC支持的Stanford 研究人员制成圆片级的碳纳米管逻辑电路 5
• MIT 的新探测器使用纳米管感知致命气体 6
• 斯坦福大学的工程师表明碳纳米管电路可大量制造 6

产业与政策

• 对MEMS 的需求将上涨 7
• 多样性是好的，更多样就更好吗？ 7
• MEMS 传感器获得新动力 8
• 纳米技术：早期疾病诊断路线图 9
• ICMAN2008 在中国西安举行 13

会议信息与书刊推荐

• Transducers 2009 14
• “微系统和纳米技术”内容简介 15