2021年4月22日-23日，由蚌埠市人民政府、中国兵器工业集团科技与信息化部、中国兵器科学研究院和北方电子研究院有限公司单位主办，中国兵器工业第二一四研究所、蚌埠经济开发区管理委员会、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会承办，赛迪顾问股份有限公司、北京芯合汇科技有限公司协办的第四届中国MEMS智能传感器产业发展大会暨企业家论坛在中国安徽蚌埠圆满落幕。
从2017年到2019年，MEMS智能传感器产业发展大会已经连续举办了三届，2020年受新冠疫情影响大会按下了暂停键。第四届中国MEMS智能传感器产业发展大会旨在发挥蚌埠地域汇集国家高科技研究所的优势，引领中国MEMS智能传感器和集成电路产业发展，深入探讨MEMS产业发展，推动业界合作交流，共赢MEMS产业新机遇。600多名代表包括政界领导、领域专家、研究人员、企业领袖、商务精英聚首蚌埠，围绕“凝“芯”聚力、“智”创未来”这一主题，深入探讨MEMS产业发展，推动合作交流，以共赢MEMS产业的新机遇，共商中国MEMS智能传感器产业发展大计。
清华大学副校长、中国仪器仪表学会理事长尤政院士致辞
大会开幕式分别由蚌埠市委副书记、代理市长操龙灿，清华大学副校长、中国仪器仪表学会理事长尤政院士，安徽省政府副省长张红文致辞，随后还举办了中国（蚌埠）传感谷首批入驻企业签约仪式、智能传感器制造业创新联盟加盟签约仪式。
主论坛由中国工程院院士杨树兴，中国工程院院士杨善林，中国科学院院士祝世宁，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事长、苏州大学机电工程学院院长孙立宁，赛迪顾问副总裁李珂，中国兵器工业集团供公司首席专家高文作主旨演讲。其中，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事长、苏州大学机电学院院长孙立宁做了题为《智能感知助力智能制造产业创新发展》报告，认为微纳器件与系统是智能制造与智慧生活的核心技术。MEMS向微型化、集成化、多功能化、数字化、网络化方向发展，机器人+微纳+信息、人工智能交叉融合会改变人们的生产和生活方式，微纳器件与系统正形成巨大产业。我们应该加强基础与创新研究，解决共性关键技术，建立产业制造平台。
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事长、苏州大学机电工程学院院长孙立宁教授作主论坛主旨演讲及接受采访
除主论坛外，本届大会还设有4场分论坛，其中，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副理事长、清华大学朱荣教授在“5G与人工智能应用”分论坛作主题演讲；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中科院上海微系统与信息技术研究所李昕欣研究员，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、智能传感功能材料国家实验室传感所所长明安杰高工在“生命健康与医疗应用”分论坛作主题演讲；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事、中国科学院空天信息创新研究院夏善红研究员，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国科学院微电子研究所焦斌斌研究员在“MEMS与智能传感器技术”分论坛作主题演讲；中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所沈文江研究员在“自动驾驶与导航”分论坛作主题演讲。另外，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长和秘书长、中国科学院空天信息创新研究院王军波研究员，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事长和副秘书长、清华大学杨兴副研究员也到场参加了本次大会。
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副理事长、清华大学朱荣教授作分论坛主题演讲
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中科院上海微系统与信息技术研究所李昕欣研究员作分论坛主题演讲
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务理事、中国科学院空天信息创新研究院夏善红研究员作分论坛主题演讲
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国科学院微电子研究所焦斌斌研究员作分论坛主题演讲
MEMS正被广泛应用于工业互联网、自动驾驶、生物医疗、5G等众多领域，发展前景广阔无限，本次大会汇集了国家部委、学术界、企业家的优秀专家和领军人物，聚焦智能传感器、集成电路等开展高端对话，探讨合作，会议取得强烈的反响。中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会作为本次大会的承办方之一将以此次大会为契机，全面加强政、产、学、研合作，奋进新时代，抢抓新机遇，开创新未来。
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会
2021.5
山西省政府副秘书长、中北大学原校长张文栋教授（张国军教授代）介绍MEMS矢量水听器，MEMS湍流传感器，MEMS心音听诊器，CMUT超声换能器四种声学传感器的工作原理、技术特点和优势、初步应用或应用前景。
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室李昕欣教授在主旨报告中讨论MEMS芯片的另一个命运——在科学仪器上的高价应用。介绍了以MEMS谐振腔为基础的科学仪器在需要的样品、分析速度快、多通道操作、测量精度高、机器体积小等方面具有先进的商业仪器所不能比拟的技术优势。
东南大学MEMS教育部重点实验室黄庆安教授在本次论坛上主要针对MEMS发展历程、中国MEMS技术近20年研发及产业发展、5G特征、中国新型基础设施建设、5G时代的MEMS需求与发展等方面进行了介绍。
清华大学机械系摩擦学国家重点实验室主任田煜教授在报告中根据改良的阿基米德原理，通过投射出水黾腿影的方法来使微小的力可见且可测量，提出水上行走昆虫的运动原理和仿生水生设备的设计。通过疏水物体在液体上漂浮的阴影，可以看到并精确测量分辨率等效浮力。这种阴影可视化对各种机器人的生物力学和仿生设计，微小力测量产生了广泛的影响。
江苏大学材料学院院长乔冠军教授在本次主题报告中介绍了MEMS热电堆红外传感器的结构、原理，以及关键材料的性能要求。重点围绕芯片设计、吸收层材料、红外滤光片、器件封装检测等，较详细介绍了团队近年来的一些工作进展，同时分享材料人研发芯片器件的一些感受体会。
第二部分由桂林电子科技大学生命与环境科学学院院长陈真诚教授主持，由哈尔滨工业大学博士邵广斌代哈尔滨工业大学校学科办副主任、机器人技术与系统国家重点实验室李隆球教授，西安知微传感技术有限公司创始人、西北工业大学乔大勇教授，苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心副主任刘会聪教授做大会邀请报告。
哈尔滨工业大学校学科办副主任、机器人技术与系统国家重点实验室教授李隆球（邵广斌博士代）在报告中提到近年来微型功能器件以功能需求为导向，具有多材料、多尺度、多功能集成等特点，传统设计理论与制造方法在功能器件制造中不再适用，微纳增材制造发展迅速，在材料多样性、尺度跨越性、功能集成性等方面具有独特优势，在功能器件制造中极具潜力。介绍了课题组在功能器件微纳增材制造领域的最新研究成果，包括跨尺度多材料增材制造、机电器件一体化制造等。
西安知微传感技术有限公司创始人、西北工业大学乔大勇教授作了题为《基于MEMS振镜扫描的三维成像》的主题报告，主要介绍MEMS振镜的原理，分类和其在激光雷达，激光测量，激光标识和激光成像领域的主要应用。
苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心副主任刘会聪教授在报告中提到，课题组通过收集环境中的振动能、人体运动能、海洋波浪能、风能等多种能源，基于电磁、压电和摩擦电效应，开发出多种能量收集器，解决超低频、宽频带、高密度输出的核心关键问题，成功地为自供电无线传感器节点供电。此外，自供电摩擦电传感器件也在VR/AR控制和人机界面等领域得到了广泛的应用。团队研发智能柔性传感器和机器人智能皮肤，为未来的人机交互应用奠定基础。
第三部分由大连理工大学微机电系统与精密工程研究所副所长褚金奎教授主持，由辽宁省微纳米技术及系统重点实验室主任、大连理工大学机械工程学院刘军山研究员，“太阳能电池与技术”江苏省重点实验室副主任、“光伏科学与工程”江苏省协同创新中心副主任、常州大学袁宁一教授，苏州捷研芯电子科技有限公司、苏州捷杰传感技术有限公司创始人申亚琪总经理做大会邀请报告。
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室主任、大连理工大学机械工程学院刘军山研究员在本次论坛中主要介绍了在聚合物体加工方面，聚合物微纳米结构复制成型理论、方法、工艺和装备；在聚合物表面加工方面，介绍与聚合物材料相兼容的系列化异质材料薄膜光刻图案化方法和柔性聚合物表面微纳功能结构制造方法。
“太阳能电池与技术”江苏省重点实验室副主任、“光伏科学与工程”江苏省协同创新中心副主任、常州大学袁宁一教授在论坛上介绍了课题组通过微纳结构的设计制造、表界面控制提高光伏、储能、柔性电子器件的性能，解决了制约传统晶硅电池效率提升的光吸收、光生载流子传输和收集的问题；制备出高效有机-无机杂化钙钛矿电池组件；开发了围绕碳纳米材料与MXene的低温储能电池等。此外，介绍了在柔性智能材料、人工肌肉、软体机器人、表界面等方面的研究进展。
苏州捷研芯电子科技有限公司、苏州捷杰传感技术有限公司创始人申亚琪总经理在报告中围绕工业互联网的需求分析及应用场景、MEMS无线智能传感器及系统关键技术及产品、MEMS无线智能传感器及系统的应用案例、产业发展趋势等方面进行了探讨。
第四部分由河南汉威集团首席专家、高级工程师张小水主持，由中国科学院北京纳米能源与系统研究所研究员张弛，东南大学教授刘磊，“微米纳米加工技术”国家重点实验室（上海交大）主任、上海交通大学教授刘景全做大会邀请报告。
中国科学院北京纳米能源与系统研究所张弛研究员在报告上围绕基于摩擦纳米发电机的自驱动微系统，针对环境低频微幅机械能有效收集、摩擦表面电荷密度小和能量供给效率低等关键科学问题，开展了机理特性、微纳制造和器件应用等方面的研究，揭示了摩擦发电的重要机理与特性，提出了性能提升的微纳结构制造方法，实现了多功能的微器件与自供电集成微系统，开创了摩擦电子新方向，突破了摩擦纳米发电机实用化技术瓶颈，并开展了其在机器人触觉、穿戴器件和无线传感等领域的应用研究。
东南大学刘磊教授在论坛上的报告主要立足与微纳传感与单分子检测等前沿领域，针对我国肺癌致病因素不断增加、死亡率高居不下的现状和传统诊断技术的瓶颈，面向肺癌早发现、早治疗、早康复的重大民生需求，采用多学科交叉的研究手段，以医工结合为突破点，发展肺癌早期诊断及演变精准监测的新模式。
“微米纳米加工技术”国家重点实验室（上海交大）主任、上海交通大学刘景全教授较为全面地介绍了基于MEMS技术的平面型可植入脑机接口器件和探针型脑机接口器件。随着光遗传学的出现，为神经环路研究带来了革命性的影响。同时介绍光电集成的多功能脑机接口器件。脑机接口器件的研究对于神经科学、脑疾病诊治、运动能力受损后恢复机器人等具有非常重要的意义。
上海交通大学杨卓青教授在论坛上将系统介绍上海交通大学十多年来在金属基MEMS惯性开关器件上的研发历程和取得的重要成果，并分享课题组在该领域中的最新研究进展，推动金属基MEMS惯性开关尽早实现国产化，大力提升我国国防装备效能。
深圳摩方材料科技有限公司高级技术支持工程师彭瑛在报告中主要分享了围绕微尺度3D打印技术的原理及应用，展示摩方团队自主创新的面投影微立体光刻3D打印技术及设备系统。同时结合超材料、仿生材料、微机械、微流控、生物医疗等具体应用案例，展示微尺度3D 打印技术在众多科研领域的应用。
江苏大学张忠强教授在报告中提到创新性地利用带有大孔的旋转多孔石墨烯薄膜实施反渗透滤盐，实现了接近100%的离子截留率和超高渗透率，比已有的新型商业滤盐反渗透膜高2-3个数量级。同时，提到了基于石墨烯膜和盐水的边界滑移特性提出了时间维度离子分离的概念，不仅利用了微孔的空间特征尺寸，还巧妙利用了时间维度进行了离子筛选，一定程度上突破了微孔特征尺寸对选择性、渗透性的相互制约。并表示，研究结果将在海水淡化、农业灌溉和水处理等领域发挥巨大作用。
常州大学林本才副教授在论坛上主要介绍了离子液体、离子聚合物的分子设计、合成及其在燃料电池领域的应用。离子聚合物具备离子液体与聚合物的优点，因而近年来成为聚合物电解质领域研究的热点之一。
深圳市中图仪器股份有限公司的光学工程师和产品工程师刘见桥较为全面地介绍了使用白光干涉仪对微纳样品形貌进行扫描重建，获取高精度的3D视图和数据，是使用白光干涉仪的初衷，但由于3D重建算法，即扫描模式的差异，对还原的3D视图精确性和测量数值精度均造成一定的影响，如今主要存在垂直扫描法、相移干涉法、、扩展相移干涉法等几种扫描模式，报告主要介绍这几种扫描模式的差异和局限性。
西北工业大学陶凯副教授在论坛上围绕振动能量收集的带宽和输出性能两个问题从MEMS驻极体非线性拓频机理、双极性驻极体电荷增强机制和驻极体柔性可穿戴应用等三个方面讨论了拓宽驻极体材料及器件的应用前景。
重庆理工大学冯文林教授在论坛上主要提出水质监测对人类身体健康及环境保护的重要性。介绍了设计制作的负离子传感器，该传感器适于痕量氟离子的灵敏检测，通过溶剂热法合成了一类新型发光材料，其生长过程为定向附着晶化（CPA）机理，具有大孔隙、高比表面积及中空球超结构。
江苏大学智能柔性机械电子研究院助理研究员徐江在论坛上针对低温下储能器件性能急剧衰减的问题，分别从电极材料，界面以及器件结构的设计出发，讲述温度的降低对离子在各相中传输的影响，获取低温下能够高效工作的储能器件。
北京化工大学郭霄亮副教授在主题报告中一种基于机器视觉的触觉传感系统，即电子皮肤，其高密度性可比拟人类皮肤，因此该传感系统可以成功地同时测量三维力和温度分布，可以检测物体的形状，重量，质地，刚度和粘度，从而全面模拟了人类的触觉系统。
智能传感功能材料国家重点实验室传感所所长、有研工程技术研究院有限公司、有研科技集团有限公司教授级高工明安杰在论坛上主要介绍了研发的面向医疗、环境监测的两种气体传感器及其核心部件开发。非分散红外（NDIR）原理的气体传感器由于抗交叉干扰、可靠性高等优点在呼吸机、麻醉仪等医疗装备上得到爆发式应用，在家电、工业监测等领域也有广阔市场。
中国科学院新疆理化技术研究所窦新存研究员较为全面地介绍了中国科学院新疆理化技术研究所爆炸物安全科学自治区重点实验室在电学气体传感器的提升策略（比表面积、异质结、表面缺陷、肖特基结等）和荧光比色化学传感器的提升策略（分子设计，传感基底的限域与环境适应性），以及基于嗅觉仿生原理，提出的电学和光学人工嗅觉系统的建立策略。
