2020年11月21日-23日，由中国仪器仪表学会、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会、清华大学主办，江苏大学、江苏省光伏科学与工程协同创新中心承办，深圳市中图仪器股份有限公司、深圳摩方材料科技有限公司协办的中国第十四届微米纳米技术创新与产业化国际论坛（ICMAN 2020）在镇江兆和皇冠假日酒店成功举办。150多名学者、领导、嘉宾相聚镇江，围绕论坛主题“智能·健康·绿色·生活”，深度聚焦微纳器件制造与微系统技术研究，进行学术交流和产业推广，促进微米纳米技术创新与产业化。
开幕现场
一、直击·开幕式
论坛开幕式上，由中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会常务副理事长、清华大学朱荣教授主持，中国仪器仪表学会副秘书长张莉，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事长、苏州大学机电工程学院院长孙立宁，江苏大学校长颜晓红，江苏大学副校长丁建宁等致辞。
中国仪器仪表学会副秘书长张莉致辞
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事长
苏州大学机电工程学院院长孙立宁致辞
江苏大学校长颜晓红致辞
江苏大学副校长丁建宁致辞
二、聚焦·主旨报告
1、大会主旨报告
第一部分由西北工业大学机电学院院长苑伟政教授主持，由苏州大学机器人与微系统研究中心主任、苏州大学机电工程学院院长孙立宁教授，江苏大学副校长、江苏省光伏科学与工程协同创新中心主任丁建宁教授做大会主旨报告。
苏州大学机器人与微系统研究中心主任，苏州大学机电工程学院院长孙立宁教授在主旨报告中详细分析了微纳制造发展趋势。他介绍称，微纳制造技术已成为衡量一个国家制造水平的标志，代表制造科学的发展最前沿。微纳制造研究内容涉及微纳器件与系统、加工、测试、封装、装备等。通过分析国内外微纳制造的发展现状与趋势，结合我国智能制造的发展战略，提出了微纳器件的发展建议，并介绍了在机器人、医疗健康等领域的应用。
江苏大学副校长、江苏省光伏科学与工程协同创新中心主任丁建宁教授在主旨报告中详细论述了针对高效率低成本电池制造技术面临三大科技难题。从微纳结构设计、表界面制造技术和装备三方面创新，来突破高效低成本电池制造技术瓶颈。建成完全自主知识产权、国产化、全球领先的首条高效低成本晶硅电池制造技术产线，成为引领国际的主流技术。
第二部分由中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、秘书长、传感技术国家重点实验室副主任、中科院空天信息创新研究院王军波研究员主持，由中北大学张国军教授代山西省政府副秘书长、中北大学原校长、张文栋教授，中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室李昕欣教授，东南大学MEMS教育部重点实验室黄庆安教授做大会主旨报告。
山西省政府副秘书长、中北大学原校长张文栋教授（张国军教授代）介绍MEMS矢量水听器，MEMS湍流传感器，MEMS心音听诊器，CMUT超声换能器四种声学传感器的工作原理、技术特点和优势、初步应用或应用前景。
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会副理事长、中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室李昕欣教授在主旨报告中讨论MEMS芯片的另一个命运——在科学仪器上的高价应用。介绍了以MEMS谐振腔为基础的科学仪器在需要的样品、分析速度快、多通道操作、测量精度高、机器体积小等方面具有先进的商业仪器所不能比拟的技术优势。
东南大学MEMS教育部重点实验室黄庆安教授在本次论坛上主要针对MEMS发展历程、中国MEMS技术近20年研发及产业发展、5G特征、中国新型基础设施建设、5G时代的MEMS需求与发展等方面进行了介绍。
2、大会邀请报告
第一部分由苏州大学千人郭述文教授主持，由清华大学机械系摩擦学国家重点实验室主任田煜教授，中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室陈健副研究员，河南汉威集团首席专家、高级工程师张小水，江苏大学材料学院院长乔冠军教授做大会邀请报告。
清华大学机械系摩擦学国家重点实验室主任田煜教授在报告中根据改良的阿基米德原理，通过投射出水黾腿影的方法来使微小的力可见且可测量，提出水上行走昆虫的运动原理和仿生水生设备的设计。通过疏水物体在液体上漂浮的阴影，可以看到并精确测量分辨率等效浮力。这种阴影可视化对各种机器人的生物力学和仿生设计，微小力测量产生了广泛的影响。
中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室陈健副研究员的报告围绕单细胞检测中敏感机理不明/技术实现困难的关键技术瓶颈，介绍基于“压缩通道”敏感单元的单细胞物理/化学特性的检测方法，为单细胞检测研究提供理论和技术基础。
河南汉威集团首席专家、高级工程师张小水在报告环节从行业现状、应用、技术、趋势等方面对半导体气体传感器、催化燃烧式气体传感器、电化学式气体传感器、红外吸收式气体传感器进行了介绍和评价，对趋势进行了展望。
江苏大学材料学院院长乔冠军教授在本次主题报告中介绍了MEMS热电堆红外传感器的结构、原理，以及关键材料的性能要求。重点围绕芯片设计、吸收层材料、红外滤光片、器件封装检测等，较详细介绍了团队近年来的一些工作进展，同时分享材料人研发芯片器件的一些感受体会。
第二部分由桂林电子科技大学生命与环境科学学院院长陈真诚教授主持，由哈尔滨工业大学博士邵广斌代哈尔滨工业大学校学科办副主任、机器人技术与系统国家重点实验室李隆球教授，西安知微传感技术有限公司创始人、西北工业大学乔大勇教授，苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心副主任刘会聪教授做大会邀请报告。
哈尔滨工业大学校学科办副主任、机器人技术与系统国家重点实验室教授李隆球（邵广斌博士代）在报告中提到近年来微型功能器件以功能需求为导向，具有多材料、多尺度、多功能集成等特点，传统设计理论与制造方法在功能器件制造中不再适用，微纳增材制造发展迅速，在材料多样性、尺度跨越性、功能集成性等方面具有独特优势，在功能器件制造中极具潜力。介绍了课题组在功能器件微纳增材制造领域的最新研究成果，包括跨尺度多材料增材制造、机电器件一体化制造等。
西安知微传感技术有限公司创始人、西北工业大学乔大勇教授作了题为《基于MEMS振镜扫描的三维成像》的主题报告，主要介绍MEMS振镜的原理，分类和其在激光雷达，激光测量，激光标识和激光成像领域的主要应用。
苏州大学机电工程学院机器人与微系统研究中心副主任刘会聪教授在报告中提到，课题组通过收集环境中的振动能、人体运动能、海洋波浪能、风能等多种能源，基于电磁、压电和摩擦电效应，开发出多种能量收集器，解决超低频、宽频带、高密度输出的核心关键问题，成功地为自供电无线传感器节点供电。此外，自供电摩擦电传感器件也在VR/AR控制和人机界面等领域得到了广泛的应用。团队研发智能柔性传感器和机器人智能皮肤，为未来的人机交互应用奠定基础。
第三部分由大连理工大学微机电系统与精密工程研究所副所长褚金奎教授主持，由辽宁省微纳米技术及系统重点实验室主任、大连理工大学机械工程学院刘军山研究员，“太阳能电池与技术”江苏省重点实验室副主任、“光伏科学与工程”江苏省协同创新中心副主任、常州大学袁宁一教授，苏州捷研芯电子科技有限公司、苏州捷杰传感技术有限公司创始人申亚琪总经理做大会邀请报告。
辽宁省微纳米技术及系统重点实验室主任、大连理工大学机械工程学院刘军山研究员在本次论坛中主要介绍了在聚合物体加工方面，聚合物微纳米结构复制成型理论、方法、工艺和装备；在聚合物表面加工方面，介绍与聚合物材料相兼容的系列化异质材料薄膜光刻图案化方法和柔性聚合物表面微纳功能结构制造方法。
“太阳能电池与技术”江苏省重点实验室副主任、“光伏科学与工程”江苏省协同创新中心副主任、常州大学袁宁一教授在论坛上介绍了课题组通过微纳结构的设计制造、表界面控制提高光伏、储能、柔性电子器件的性能，解决了制约传统晶硅电池效率提升的光吸收、光生载流子传输和收集的问题；制备出高效有机-无机杂化钙钛矿电池组件；开发了围绕碳纳米材料与MXene的低温储能电池等。此外，介绍了在柔性智能材料、人工肌肉、软体机器人、表界面等方面的研究进展。
苏州捷研芯电子科技有限公司、苏州捷杰传感技术有限公司创始人申亚琪总经理在报告中围绕工业互联网的需求分析及应用场景、MEMS无线智能传感器及系统关键技术及产品、MEMS无线智能传感器及系统的应用案例、产业发展趋势等方面进行了探讨。
第四部分由河南汉威集团首席专家、高级工程师张小水主持，由中国科学院北京纳米能源与系统研究所研究员张弛，东南大学教授刘磊，“微米纳米加工技术”国家重点实验室（上海交大）主任、上海交通大学教授刘景全做大会邀请报告。
中国科学院北京纳米能源与系统研究所张弛研究员在报告上围绕基于摩擦纳米发电机的自驱动微系统，针对环境低频微幅机械能有效收集、摩擦表面电荷密度小和能量供给效率低等关键科学问题，开展了机理特性、微纳制造和器件应用等方面的研究，揭示了摩擦发电的重要机理与特性，提出了性能提升的微纳结构制造方法，实现了多功能的微器件与自供电集成微系统，开创了摩擦电子新方向，突破了摩擦纳米发电机实用化技术瓶颈，并开展了其在机器人触觉、穿戴器件和无线传感等领域的应用研究。
东南大学刘磊教授在论坛上的报告主要立足与微纳传感与单分子检测等前沿领域，针对我国肺癌致病因素不断增加、死亡率高居不下的现状和传统诊断技术的瓶颈，面向肺癌早发现、早治疗、早康复的重大民生需求，采用多学科交叉的研究手段，以医工结合为突破点，发展肺癌早期诊断及演变精准监测的新模式。
“微米纳米加工技术”国家重点实验室（上海交大）主任、上海交通大学刘景全教授较为全面地介绍了基于MEMS技术的平面型可植入脑机接口器件和探针型脑机接口器件。随着光遗传学的出现，为神经环路研究带来了革命性的影响。同时介绍光电集成的多功能脑机接口器件。脑机接口器件的研究对于神经科学、脑疾病诊治、运动能力受损后恢复机器人等具有非常重要的意义。
3、大会青年邀请报告
第一部分由苏州大学机电工程学院、机器人与微系统研究中心副主任刘会聪教授，西北工业大学陶凯副教授主持，由上海交通大学杨卓青教授，深圳摩方材料科技有限公司高级技术支持工程师彭瑛，江苏大学张忠强教授，常州大学林本才副教授，深圳市中图仪器股份有限公司的光学工程师和产品工程师刘见桥做大会青年邀请报告。
上海交通大学杨卓青教授在论坛上将系统介绍上海交通大学十多年来在金属基MEMS惯性开关器件上的研发历程和取得的重要成果，并分享课题组在该领域中的最新研究进展，推动金属基MEMS惯性开关尽早实现国产化，大力提升我国国防装备效能。
深圳摩方材料科技有限公司高级技术支持工程师彭瑛在报告中主要分享了围绕微尺度3D打印技术的原理及应用，展示摩方团队自主创新的面投影微立体光刻3D打印技术及设备系统。同时结合超材料、仿生材料、微机械、微流控、生物医疗等具体应用案例，展示微尺度3D 打印技术在众多科研领域的应用。
江苏大学张忠强教授在报告中提到创新性地利用带有大孔的旋转多孔石墨烯薄膜实施反渗透滤盐，实现了接近100%的离子截留率和超高渗透率，比已有的新型商业滤盐反渗透膜高2-3个数量级。同时，提到了基于石墨烯膜和盐水的边界滑移特性提出了时间维度离子分离的概念，不仅利用了微孔的空间特征尺寸，还巧妙利用了时间维度进行了离子筛选，一定程度上突破了微孔特征尺寸对选择性、渗透性的相互制约。并表示，研究结果将在海水淡化、农业灌溉和水处理等领域发挥巨大作用。
常州大学林本才副教授在论坛上主要介绍了离子液体、离子聚合物的分子设计、合成及其在燃料电池领域的应用。离子聚合物具备离子液体与聚合物的优点，因而近年来成为聚合物电解质领域研究的热点之一。
深圳市中图仪器股份有限公司的光学工程师和产品工程师刘见桥较为全面地介绍了使用白光干涉仪对微纳样品形貌进行扫描重建，获取高精度的3D视图和数据，是使用白光干涉仪的初衷，但由于3D重建算法，即扫描模式的差异，对还原的3D视图精确性和测量数值精度均造成一定的影响，如今主要存在垂直扫描法、相移干涉法、、扩展相移干涉法等几种扫描模式，报告主要介绍这几种扫描模式的差异和局限性。
第二部分由上海交通大学杨卓青教授、电子科技大学王曾晖教授主持，由西北工业大学微系统工程系陶凯副教授，重庆理工大学冯文林教授，江苏大学智能柔性机械电子研究院助理研究员徐江，北京化工大学郭霄亮副教授，智能传感功能材料国家重点实验室传感所所长、有研工程技术研究院有限公司、有研科技集团有限公司教授级高工明安杰，中国科学院新疆理化技术研究所窦新存研究员做大会青年邀请报告。
西北工业大学陶凯副教授在论坛上围绕振动能量收集的带宽和输出性能两个问题从MEMS驻极体非线性拓频机理、双极性驻极体电荷增强机制和驻极体柔性可穿戴应用等三个方面讨论了拓宽驻极体材料及器件的应用前景。
重庆理工大学冯文林教授在论坛上主要提出水质监测对人类身体健康及环境保护的重要性。介绍了设计制作的负离子传感器，该传感器适于痕量氟离子的灵敏检测，通过溶剂热法合成了一类新型发光材料，其生长过程为定向附着晶化（CPA）机理，具有大孔隙、高比表面积及中空球超结构。
江苏大学智能柔性机械电子研究院助理研究员徐江在论坛上针对低温下储能器件性能急剧衰减的问题，分别从电极材料，界面以及器件结构的设计出发，讲述温度的降低对离子在各相中传输的影响，获取低温下能够高效工作的储能器件。
北京化工大学郭霄亮副教授在主题报告中一种基于机器视觉的触觉传感系统，即电子皮肤，其高密度性可比拟人类皮肤，因此该传感系统可以成功地同时测量三维力和温度分布，可以检测物体的形状，重量，质地，刚度和粘度，从而全面模拟了人类的触觉系统。
智能传感功能材料国家重点实验室传感所所长、有研工程技术研究院有限公司、有研科技集团有限公司教授级高工明安杰在论坛上主要介绍了研发的面向医疗、环境监测的两种气体传感器及其核心部件开发。非分散红外（NDIR）原理的气体传感器由于抗交叉干扰、可靠性高等优点在呼吸机、麻醉仪等医疗装备上得到爆发式应用，在家电、工业监测等领域也有广阔市场。
中国科学院新疆理化技术研究所窦新存研究员较为全面地介绍了中国科学院新疆理化技术研究所爆炸物安全科学自治区重点实验室在电学气体传感器的提升策略（比表面积、异质结、表面缺陷、肖特基结等）和荧光比色化学传感器的提升策略（分子设计，传感基底的限域与环境适应性），以及基于嗅觉仿生原理，提出的电学和光学人工嗅觉系统的建立策略。
微米纳米技术创新与产业化国际论坛（ICMAN），是由中国仪器仪表学会主办的微米纳米技术领域系列高层论坛，为来自学术界和工业界的专家学者、企业家以及广大学生，提供一个促进微米纳米技术和微纳器件与系统技术科研创新与产业化的深度交流契机，搭建一个产学研深度合作的重要平台。
迄今为止，已分别在苏州、西安、上海、深圳、北京、杭州、重庆、郑州、镇江等地连续举办十四届，取得了巨大成功，引起了积极反响，充分彰显了中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会十几年来的的发展与进步，得到了业内外专家、学者们的广泛关注。
三、 第七届国际微米纳米“创新与产业化”学生大赛获奖名单公示
本次大赛得到数十所高校及科研院所的近百名师生积极响应和报名，经过业内专家评委全方位公平公正的评比，甄选出14组优秀队伍入围决赛，他们在2020年11月21日下午做出了精彩的展示。
主办方：
中国仪器仪表学会
中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会
清华大学
承办方：
江苏大学
江苏省光伏科学与工程协同创新中心
协办方：
深圳市中图仪器股份有限公司
深圳摩方材料科技有限公司
本次比赛评委名单如下：
主席：李铁（中科院上海微系统所）
成员：韦学勇（西安交通大学）
陈立国（苏州大学）
乔大勇（知微传感技术有限公司/西北工业大学）
陈健（中国科学院空天信息创新研究院）
王冰（昆山双桥传感器测控技术有限公司）
张忠强（江苏大学）
杨兴（清华大学）
本次比赛获奖名单如下：
1、一等奖获得者（奖金1500元/组+证书）
- 新型冠状病毒抗原检测试纸
朱子建、申琳、谷苗、言唯楚、王润辉（桂林电子科技大学）
2.二等奖获得者（奖金1000元/组+证书）
- 高性能单光子探测：芯片、系统、装备的产业化
孟赟、邹锴 、胡南、许亮、刘海毅（天津大学） - 微型化全集成CO2红外气体传感器
冯立扬（中国科学院上海微系统与信息技术研究所）
3.三等奖获得者（奖金500元/组+证书）
- 可用于地震波检测的光学MEMS加速度传感器
赵明辉、齐永宏、高阳（西安交通大学） - 高性能热释电红外探测器开发及便携式呼吸监测仪应用
张少勋、连紫薇、韩雨庐、金庆喜、赵玉鹏（有研工程技术研究院有限公司） - 病毒检测用传感器芯片与系统研发
王乐、李龙、赵雨农、陶妍冰、章明琦（华中科技大学）
4、特别贡献奖获得者（奖金500元/组+证书）
- 基于摩擦纳米发电机的自供能智能交通监测系统
曹杰、韩磊、曲召奇、杨羽、邱伟（江苏大学）
5、优秀项目奖获得者（证书）
- 基于硅纳米线的便携式生物传感系统
杨义（中国科学院上海微系统与信息技术研究所） - 可用于骨组织修复和神经组织修复的羟基磷灰石药剂
何建龙、郝敏、段佳志、夏鹤（山东大学） - 基于高通量肿瘤细胞富集装置的液体活检平台
程洁、叶一霏、栾晓凤（中国科学院微电子研究所） - 空气细菌浓度在线监测微系统
张志强、贾纹纹、谭军、白鹤轩（重庆大学） - 可循环高容量通用型介孔TiO2吸附剂的研制及其在污染物吸附降解中的应用
苏靖婷、王芳（东南大学） - 面向花生中黄曲霉毒素B1的自校正连续可重复电化学感知系统
李玉叶、朱成喜、罗莉君、毕晓雅（江苏大学） - 基于纸基微流控生物纳米传感技术的食品过敏原快速检测设备
蒋雯、付卓异、张铖、冯程科、张靖（电子科技大学）
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附：
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