数字双轴MEMS陀螺仪面世
九 13th, 2009 | By dumin | Category: 科技动态众所周知，图像稳定算法一般被用来用于探测数码相机的运动，然后微移动相机镜头或传感器，实现补偿运动。对于制造商来说，随着移动设备逐渐集成更高分辨率的相机，安装相对便宜的MEMS陀螺仪成为一种选择。
总部位于加州Sunnyvale的Invensense公司宣布其成为第一个为相机稳定提供MEMS数字双轴陀螺仪的供应商。 公司CEO Steve Nasiri表示：“我们拥有世界上第一个数字输出式的双轴陀螺。”
Invensense公司以前已经宣布其开发出世界上最小的模拟双轴陀螺。自那时起，其他厂商也纷纷效仿。Invensense的数字陀螺仪采用重新设计的MEMS芯片，功耗仅为模拟陀螺仪的一半。
公司成像业务部门主管认为，随着照相手机的像素接近8百万，图像稳定技术正成为一项必要手段，因此需要一个双轴陀螺。
Invensense公司通过使用Nasiri发明的共晶键合工艺来降低成本。这一过程中使用带有陀螺数字电路的CMOS晶片作为帽子，成型密封，从而保护精巧的MEMS机构免受污染。晶圆级工艺可在切割前同时密封成千上万的MEMS陀螺仪，降低了大量成本。
Invensense以前的价格目标是$1/axis，但其新的数字MEMS芯片进一步降低了价格目标。同时在新的芯片上还增加了额外的芯片数字电路，易于集成并减少了整体价格。其中包括自动增益放大控制，抗混叠滤波器，一个温度传感器和一个精确的计时器，用于为图像稳定算法提供所需的协同时间。
这款数字双轴MEMS陀螺仪命名为IDG-2000，尺寸仅为4×4×0.9 mm，运行时最大消耗电流4 mA，睡眠模式下为5 μA。
