由Microvision的核心MEMS技术驱动的ROV（TM）在微软移动和嵌入式开发会议上被展示出来。Microvision 股份有限公司，一家扫描光束技术方面处于领先的开发公司近日宣布公开一种新的激光条形码扫描器，这种设备采用了该公司独特的MEMS扫描镜技术。五月1日–3日在拉斯维加斯举行的微软全球移动和嵌入式开发大会上展示的这种产品名为ROV（TM）的蓝牙激光条形码扫描器，具有时尚圆滑外形，便于手持，主要针对的用户是那些需要在所选择的移动平台上提供简单便宜的数据收集解决方案的移动公共人员。这种新产品以其简单廉价闻名，具有可靠的指向和扫描功能，提供大范围的条形码符号解码，其出色的片上内存能保存超过4000次扫描的数据，依靠便宜的AAA电池供电。
更详细的信息请参考 www.microvision.com/rov
Armstrong光学有限公司的MFlow 200质量流量计对经过充分验证的流速测量原理进行了小型化适应修正。这种微加工传感器由瑞士的Axetris Microsyst-ems Division of Leister Process Technologiess生产，设计用来进行质量流量的精准灵敏测量且响应时间极快 (约2ms)。成熟的测量技术与微技术的优点相结合就得到了具有出色的重复性、可靠性、线性度、温度补偿以及高灵敏度，并且很容易集成电输出信号(模拟和数字)。现在已有用于评估的“starter kit” 封装，包括MFlow 200质量流量计，接口模块，MFlow显示软件，以及所有的电缆和电源。该仪器的应用领域包括泄露测量，过程和流动控制， 校准和质量控制。
详细信息请参考: www.armstrongoptical.co.uk
报道一种微流体氢燃料电池的设计和特点，这种电池采用一种流动的硫酸溶液代替Nafion薄膜作为电极。我们研究了电池的阻抗，氢和氧的流量以及电解液的流量以研究燃料电池的性能，得到的最大能量密度为191mW/cm^2。这种流动电解液设计避免了水的处理，包括阴极溢流和阳极干涸。在出流位置布置一个参考电极可便于分析阴极和阳极的分化，这样就得到一个精致的催化剂表征和优化的工具。
详细信息请参考Langmuir
这篇文章介绍了一种激光-微加工聚合物无薄膜燃料电池。这种无薄膜燃料电池由三层PMMA构成，利用了在微管道中的层流特性使燃料流与氧化物流既分开又保持扩散接触。激光微加工被用来在PMMA基底上制作流体沟道和电极。通过在覆盖金层的PMMA基底上湿法喷涂催化剂制作出正负电极。封装后的燃料电池已由电化学分析仪得到其电化学特性。在雷诺数7.65到30.6的范围内，这种无薄膜燃料电池工作稳定。在室温下，这种基于层流的微型无薄膜燃料电池的能量密度最大可达0.58mW/cm^2(0.5M的HCOOH和0.1M的H2SO4混合溶液液为燃料，氧气饱和溶解的0.1M H2SO4溶液为氧化物)。 当采用0.01MH2O2与0.1M H2SO4的混合溶液为氧化物时，能得到的最大能量密度为1.98mW/cm^2。
这篇文章第一次报道了双氧水和硫酸的混合溶液作为氧化物在燃料电池中的使用。这种新的氧化混合物只需简单的循环处理，能够更好的利用燃料。
详细信息请参考 J. Micromech. Microeng. 17 (2007) 1107–1113
据国际电子商情消息，Epson Toyocom宣布开始量产FC-13F超薄SMD音叉型石英晶体元件。由于便携式媒体播放器等移动设备对薄型化的需求与日俱增，FC-13F利用QMEMS和高精密的镶嵌技术，制造出号称全球最薄(最大厚度仅0.6mm)的音叉型石英晶体元件，来满足此类需求。
FC-13F提供与上一代FC-135型号几乎相同的性能，但是只有其2/3的厚度。除了厚度之外，FC-13F的外部尺寸与目前量产中的FC-135完全相同。如此一来两者可以共享现有的生产设备，提供必要的弹性来因应薄型化设备与日俱增的需求。
此外，根据晶体单元效能所得的CI值(动作电阻)以及频率偏差容许度(frequency tolerance)所得的准确性，其规格也设定为标准的80kΩ(最大)及±20×10-6以 满足设计者的需求。FC-13F表定频率范围为32.768kHZ。
QMEMS为石英(一种具高稳定性和精密性的晶态材料)与微机电系统(MEMS)的组合。QMEMS石英装置采用石英材料制造。Epson Toyocom在石英材料上进行精密的微细加工(microfabrication)以提供在小型封装中更高的效能。
据Yole Development消息，Camtek公司日前推出最新产品Falcon 600，为其自动光学检测（AOI）产品家族又增一员。
这款产品适用于光电子器件，MEMS，圆片级封装以及玻璃基地检验等。其最新的设计可以使胶带上的硅片，纸一样薄的硅片，厚的圆片级封装后的硅片以及扩张环（expansion rings）的硅片，都可以被自动地夹持、传输和检验。
据Yole Development消息，Discera与Vectron International日前联合宣布，其VMC2谐振器已正式提供给客户，用以取代石英晶振作为定时标准。
Vectron是一家专业设计、制造和推广频率控制、检测和各种混合产品解决方案的公司。两家公司于去年11月宣布合作，由Discera为其提供振荡器芯片。现在已经能够推出MEMS振荡器产品。这种振荡器与石英晶振相比具有成本低，与IC工艺兼容等优点。在普通的QFN封装或者陶瓷封装内集成了一个硅振荡器和一个ASIC芯片。
这款产品现在已可以批量供货，并经过严格的离心检验和50G振动检验，未发现明显的偏离。
而另一方面，Discera也单独推出一款MOS1振荡器。 http://www.discera.com http://www.vectron.com
据Yole Development消息，10年前在MIT实验室发明出的毫米尺寸的涡轮引擎，经过不断的开发研究，终于将于今年夏天推出实际产品。
这款新引擎及可以满足制作目前世界最小的却电量更强大的电池，也可以用来做小型无人飞机或者儿童玩具的发动机。在未来，甚至可以生产出大阵列氢燃料涡轮发动机，以实现清洁、安静和节省能源的生产车间。
MIT研究人员预计今年年中将推出原型机，并在未来三到五年内实现在10-50瓦设备如笔记本电脑和军用设施方面的应用。
详细信息请参考http://web.mit.edu
据日经BP社网站报道，意法半导体（ST）决定扩充超小型低G线性加速度传感器，推出了低耗电、低成本的3轴加速度传感器“LIS302ALK”。该产品为小型MEMS(微型机械）元件，可满足便携式电子设备的小型运动感应解决方案需求。
该传感器为模拟输出，能够高精度地分别检测3轴的加速度值。外形实现了小型化，尺寸仅为5×3×0.9mm。耐冲击性方面，最大可承受1万g的重力加速度。
传感器的满量程输出范围为±2.0g，能够低功耗地检测低频振动。此外还内置能够使供电电流降至1mA的掉电模式，以及在板上安装后还可进行传感器动作检测的内建自测试功能。除应用于硬盘下落检测、振动监测外，该产品还可以用于便携设备、游戏机的用户接口。可以在外力作用时，可打开或关闭电源，以减少耗电。使用该功能，可以在人拿起物品的瞬间起动远距离控制，降低整个电路的耗电量。在医疗领域，可在患者运动监控、患者姿势和活动状况检测等方面发挥作用。现已开始样品供货，量产预定于2007年2月开始。购买3万个时每个价格约为2.95美元。
另外，该传感器采用了符合EU（欧盟）RoHS（有害物质使用限制指令）的无铅技术。
卓锐微系统公司推出了全球首款兼容传统ECM麦克风方案的硅麦克风内置放大器ACT402系列芯片。该系列放大器专门为低成本小型MEMS硅麦克风优化设计。通过采用先进的CMOS工艺和设计方法，ACT402系列放大器成为一款低噪声，低功耗的硅麦克风专用前置放大器，用来提供兼容传统ECM麦克风接口和外型的硅麦克风模块。
ACT402在集成了高压电荷泵，输入缓冲放大器，带隙基准源，输出放大器，和片上时钟生成模块后，全芯片大小仅为600um x 600um。芯片面积比同类产品减小30%。
ACT402拥有仅为50fF的典型输入电容，适用于接口电容为300fF~1pF的小型硅麦克风方案。其静态功耗仅为150uA，在2.2KOhm偏置电阻情况下，工作电源电压范围为2V~5V。ACT402提供3dB，7dB，14dB，20dB，25dB等不同增益配置。并提供电荷泵输出电压为8V，10V，12V的配置选项以适应不同的麦克风需求。在包含电荷泵输出噪声情况下，ACT402在硅麦克风敏感电容为400fF时，典型等价输入噪声为5uV。
目前ACT402系列芯片已经开始接受订货，预计批量为100k片时价格为0.09$每片。
