据美国国家航空航天局（NASA）的消息，MEMS日前已在无人驾驶机上实现了完整性的相控阵雷达。NASA之前资助了Georgia Tech 240万美元，用以建立轻量级、低成本和小型化的相控阵雷达，绘制地球冰层变化及积雪成形的地图，并进一步对全球气候变化进行分析。
Georgia Tech 电气与计算机学院教授John Papapolymerou表示：“我们正在建设的第一个相控阵雷达体积小到可有一架无人机携带，我们目前正在建设自己的射频MEMS开关，硅锗射频前端芯片和天线单元，为的是最终使整个相控阵雷达的重量下降到只有几磅。”
Georgia Tech王中林教授带领的团队通过将新一代压电纳米发电机与两种纳米线传感器结合，创造出了世界首个通过机械能转换电能实现自供电的纳米级传感装置。新装置可以通过环境中机械能产生的电流来测量液体的pH值或检测紫外线。
该装置通过在柔性基板上采用低成本的化学工艺制造实现，每个纳米发电机中包含多达20000个氧化锌纳米线，可以产生高达1.2伏特的输出电压。通过对将近1000个纳米发电机进行测试，表明可在一段时间重复操作而不会减弱发电能力，而且不需要机械可动部件。
Georgia Tech校董，材料科学与工程学院教授王中林表示：“我们已经验证了一种很有前途的方式，实现对能量的获取及为纳米级传感器提供电能，我们目前已经设立了技术路线来利用纳米发电机制造出真正复合实际应用的器件。”
近年来，美国国防部的无人机战略取得了巨大成功。空军，陆军和海军已经请求在2010财年为新系统和扩大存量拨款约61亿美元。早在2000年，美国国防部的无人驾驶飞机库存还不到50架，而到2009年10月，这一数字已增长至超过6800架。
当然，该扩增方案的实施也会造成一些大的漏洞。据报告，军方正面临着一系列挑战，包括培训，改进飞机通讯系统等，同时还必须面对无人驾驶机在未来代替军人成为国防主力军的可能性结果。
报告指出，随着更多的无人驾驶飞机进入天空执行任务，五角大楼将需要进行更多的空域训练，美国国防部估计，按照未来2013年财政年度无人驾驶飞机库存的计划，将需要超过100万飞行小时的个人训练时间。
Piribo公布的一份有关“医疗器械传感器技术与全球市场”的研究报告概述了在医疗器械市场应用的被动及主动型半导体/MEMS产品的基本情况。通过分析市场趋势，以2008年的销售数据为基础，预计未来5年直到2014年的发展趋势，预测复合年增长率。
医疗设备代表了一个巨大的、不断发展的行业，并且业已进入了业务重组的初始阶段。由于美国医疗融资改革的必然性，主要设备制造商纷纷已经宣布将彻底通过努力减少产品成本，以维持竞争优势，未来的降价似乎已成必然。半导体/MEMS传感器作为最容易集成到数字信息系统的技术之一，在这个成本意识强烈的新时代将广受重视。
报告预计，供应面向临床应用含传感器的医疗器械的原始设备制造商（OEMs）整体业务在2014年将超过83亿美元。然而，这种强劲的上涨势头也可能会导致利益分配不均。
Honeywell公司于2010年三月底对MEMSIC提起诉讼，向波士顿联邦法院指控后者的MEMS磁传感器产品侵犯了Honeywell的专利技术。
MEMSIC是一家制造MEMS传感器的公司，产品如应用于GPS设备、数码相机和移动电话的加速度计等。Honeywell则是一家生产应用于导航、定位控制、汽车探测等领域的磁传感器的公司。Honeywell声称，MEMSIC最近正在销售侵犯Honeywell专利技术的磁传感器产品。
根据Honeywell的诉讼，MEMSIC曾试图在2008年购买Honeywell的磁传感器业务，遭到Honeywell的拒绝，而后又试图获得Honeywell的技术许可，遭到其再次拒绝。MEMSIC其后在2009年开始了自己的磁传感器产品业务，被指控侵犯了Honeywell的专利。MEMSIC有关方面目前并未立即就此事发表评论。
MEMSIC在2009年财报收入为2840万美元，比2008年增长41%，该公司公布的GAAP计算净收入为24,000美元，而在2008年则为损失170万美元。
RFID Sensor Systems公司将在4月14-16日于奥兰多举行的RFID Journal LIVE 2010上推出其超远程无源电子标签EPC Gen 2（ISO 18000-6c），该款金属框架电子标签读取距离达150英尺，尺寸为0.75 X 6.25英寸，工作频率为850-960 MHz。
RFID Sensor Systems表示，它们已经在无线系统和MEMS传感器领域发展了13年，在行业内达成了多项合同，以及与美国国防部，美国国家科学基金会和其他联邦机构等合作密切，如今正在将其数款电子标签（RFID）传感器产品商业化。
公司CEO和创始人William Carr表示：“我们很欣喜地看到能将突破性的天线技术应用于微功耗，超高频电子标签（UHF RFID）领域，未来一年，研发部门将把几项专利应用于整个UHF Gen 2电子标签家族，并同时具备ID和微功耗传感功能。”
虽然如今的许多医疗成像需求通过传统的真空管技术得到了满足，但X射线成像市场的大部分需求却还无法满足，而且性能提高和成本降低的呼声越来越高。
基于加州大学洛杉矶分校（UCLA）突破性专利技术的授权，Startup公司正致力于发展轻量级的平板X射线源—Microemitter Array X-rays（MAX）技术，这一项技术可能产生新的X射线成像应用，从而降低传统应用领域的成本，解决上述需求。
Startup此次有幸被选中进入UCLA纳系统研究院的校园孵化器，发展一项采用MAX技术的轻量级X射线发射器—即可以像传统射线源一样提供相同频谱的片上X射线源。
MAX技术工作原理大致是：采用微加工结构的一个从粒子源阵列，产生均匀穿越平板的并行X射线。不同于热释电型射线源，MAX技术可以控制电子发射，从而维持稳定和可控的X射线，使得这一射线源类型能够被应用到临床领域。MAX可以通过现有的半导体代工工艺加工实现，并生成诊断X射线，无需脆性真空管和笨重昂贵的电力电子设备及放射性材料。该技术有可能提供先进而安全的新一代成像方案，比目前商业用X射线系统更具优势，并拓展X射线的应用领域。
将公司的发展活动移入校园孵化器，将为其更好地利用设备和知识提供便利，从而大大加速产品推向市场的步伐，更拉近了将这一关键技术应用于临床的距离。
如今，在大多数电子产品开发领域，如计算机、显示器和雷达，固态技术已经取代了真空管技术，固态技术在可靠性、能耗和可移植性方面的进步令人振奋，如今X射线源技术的发展更加证实了这一点。
位于罗德岛的KVH公司最近发布了其新款CG-5100惯性测量单元（IMU），它结合了KVH的光纤陀螺（FOGs）和MEMS加速度计，用于测量滚动、俯仰、偏航角速率和加速度。
CG-5100专为稳定性、有导航需求的自主性汽车应用研制，尤其是要求精确定位，速度和姿态感应，动态条件下可靠GPS全球定位或GPS不可用的领域等。
该系统提供了6自由度测量，滚动/俯仰/偏航偏差为每小时±1度，1 sigma。x/y/z输入加速度±10g范围内的零偏为最大±50 mg，4000 pppm（1 sigma），对应的频率响应为50 Hz。
Purdue大学的研究者目前已研制出能将超快速激光脉冲转化为射频信号的技术，为未来实现无线家庭和办公室打下基础。这一先进技术可以完成众多通信功能，从高分辨率电视到安全电脑连接等，仅需通过一个单一的基站实现。该校电气及计算机工程学院助理教授Minghao Qi表示：“尽管目前这一技术还有一些未来主义和不确定性存在，但我们能预想到仅仅通过一个简单基站实现所有设备的无线高效连接，基站可以是一台小型电脑，通过将磁卡插入扩展插槽，电脑将负责所有的信息处理包括收发信息。”
和微电子工业类似，MEMS在2009年也经历了一个糟糕的开端，但全年来说却可圈可点，根据iSuppli公司的分析，这主要归功于一些关键应用向高容量市场的推动。
2009年第一季度MEMS器件的销售确实比较糟糕，尽管接下来整年的销售回温迅速，但与前一年相比还是下跌了约8.6％，约合6亿美元。其中受灾最严重的部门当属汽车行业，出货量在2009年下跌了20％。汽车行业是在经济危机中受打击最大的行业之一，因每个车都集成了多个MEMS传感器，从而将这一下滑放大到了MEMS汽车传感行业。其他终端部门也承受了不同程度的打击，从消费应用领域（打印机和投影仪）到工业应用领域（仪器仪表，石油/天然气勘探，健康监测）。
尽管MEMS销售额有所下降，但实际上09年的出货数量却上升了约10％，这反映了诸如消费领域特别是移动电话应用领域的主要商品化，其中2009年MEMS的闪光点主要表现在以下三个方面：
1、加速度计。手机目前已被认为是MEMS传感器销售的主要推动力，2009年iSuppli公司检验了1000款新手机，其中27％拥有加速度计（2008年为11％）。加速度计价格的下跌也远超预期，这有助于扩大他们的消费量。这一产品领域的大赢家包括STMicroelectronics和Bosch Sensortec。（手机行业另一项新的MEMS技术是Microvision的MEMS激光扫描技术，已在诺基亚N97上提供，面向西班牙市场。）
2、MEMS麦克风。MEMS麦克风在价格上一直与现有廉价的传统麦克风技术竞争，MEMS麦克风技术此前被早期应用商Motorola的大量减产波及，蒙受巨大打击，但可喜的是又被苹果公司新的第五代iPod nano应用。Knowles目前仍然是MEMS麦克风领域的老大，但ST和Bosch正在大步进入这个市场（博世通过收购Akustica公司，ST通过与Omron公司合作）。
3、数字光处理（DLP）。2009年的另一个亮点是Pico投影仪，它既可以集成于手机也可以作为独立设备使用。Samsung在2009年初在国内首先推出这一产品，其后LG在2009年底也加入了进来，它们都使用Texas Instruments的数字光处理（DLP）技术。
4、陀螺仪。陀螺仪在2009年取得了大的飞跃，代表性的是任天堂的Wii MotionPlus插件及运动控制。InvenSense公司从中大为受益，同时ST也在2010年规划了陀螺仪产业，未来必将加速在移动游戏平台方面的应用。
